Study of recrystallization and activation processes in thin and highly doped silicon-on-insulator layers by nanosecond laser thermal annealing

材料科学 再结晶(地质) 退火(玻璃) 成核 兴奋剂 小丘 薄膜 掺杂剂 绝缘体上的硅 表面粗糙度 离子注入 光电子学 分析化学(期刊) 复合材料 纳米技术 化学 古生物学 有机化学 生物 离子 色谱法
作者
Nicolas Chery,M. Zhang,Richard Monflier,Nicolas Mallet,G. Seine,Vincent Paillard,J. M. Poumirol,Guilhem Larrieu,A.S. Royet,S. Kerdilès,P. Acosta-Alba,Michele Perego,C. Bonafos,F. Cristiano
出处
期刊:Journal of Applied Physics [American Institute of Physics]
卷期号:131 (6) 被引量:16
标识
DOI:10.1063/5.0073827
摘要

A thorough study of the phosphorus (P) heavy doping of thin Silicon-On-Insulator (SOI) layers by UV nanosecond Laser Thermal Annealing (LTA) is presented in this work. As a function of the implant dose and laser annealing conditions, the melting regimes and regrowth processes, as well as the redistribution and activation of P in the top-Si amorphized layer, were investigated. The findings emphasize the critical role of the thin crystalline silicon layer that remains after the top-Si layer amorphizes, as it provides nucleation seeds for liquid phase recrystallization. The effect of the implant dose on the recrystallization process is thoroughly investigated in terms of melt energy thresholds, crystallographic nature of the resolidified layer, defect formation, surface roughness, and the formation of hillocks on the silicon surface. Optimized laser annealing conditions, corresponding to the laser energies just preceding the onset of the full melt, were identified for all implanted doses. Such optimized layers have perfect crystallinity, negligible P out-diffusion, a nearly perfectly flat P depth profile located below the segregation-induced surface pileup peak, and dopant active concentrations well above 1021 cm−3, which is close to the highest reported values for phosphorus in bulk Si substrates.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
sing发布了新的文献求助10
刚刚
WAHAHAoo发布了新的文献求助10
刚刚
1秒前
1秒前
livian完成签到,获得积分10
1秒前
1秒前
2秒前
悦耳的襄发布了新的文献求助10
2秒前
NE555完成签到,获得积分10
2秒前
3秒前
DUhn发布了新的文献求助10
3秒前
风清扬应助王铭轩采纳,获得10
3秒前
舒心的冷安完成签到,获得积分10
3秒前
fyjlfy发布了新的文献求助10
3秒前
4秒前
4秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
4秒前
Wannnnqi发布了新的文献求助10
4秒前
糖小白完成签到,获得积分10
5秒前
fff发布了新的文献求助10
5秒前
Danboard发布了新的文献求助10
6秒前
杪夏二八完成签到 ,获得积分10
6秒前
6秒前
he发布了新的文献求助10
6秒前
彭于晏应助dsa采纳,获得10
6秒前
huyang完成签到 ,获得积分10
7秒前
学术蝗虫发布了新的文献求助10
7秒前
充电宝应助碧蓝的往事采纳,获得10
8秒前
肖志勇发布了新的文献求助10
8秒前
xiaoyu发布了新的文献求助10
8秒前
一个快乐的吃货完成签到,获得积分10
8秒前
8秒前
JIJINGHUANXI发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
10秒前
zombleq发布了新的文献求助30
10秒前
11秒前
研都不研了完成签到 ,获得积分10
12秒前
科研通AI6应助真实的立轩采纳,获得10
13秒前
李小伟发布了新的文献求助10
13秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 1001
Latent Class and Latent Transition Analysis: With Applications in the Social, Behavioral, and Health Sciences 500
On the application of advanced modeling tools to the SLB analysis in NuScale. Part I: TRACE/PARCS, TRACE/PANTHER and ATHLET/DYN3D 500
L-Arginine Encapsulated Mesoporous MCM-41 Nanoparticles: A Study on In Vitro Release as Well as Kinetics 500
Haematolymphoid Tumours (Part A and Part B, WHO Classification of Tumours, 5th Edition, Volume 11) 400
Virus-like particles empower RNAi for effective control of a Coleopteran pest 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5468557
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4571954
关于积分的说明 14332897
捐赠科研通 4498650
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2464664
邀请新用户注册赠送积分活动 1453302
关于科研通互助平台的介绍 1427914