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 Size-controlled fabrication of silicon nanopore arrays by silver-assisted chemical etching 银辅助化学刻蚀尺寸可控的硅纳米孔阵列制备
相关领域
纳米孔
蚀刻（微加工）
材料科学
反应离子刻蚀
硅
纳米技术
各向同性腐蚀
制作
黑硅
光电子学
图层（电子）
医学
病理
替代医学
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期刊：Journal of Chemical Physics 作者：Yuxin Cheng; Qinglong Luo; Junjie Hong; Silu Feng; Zhishan Yuan; et al 出版日期：2025-05-01 |
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