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Characterization of metal line-width variation in via first dual-damascene approach and its modeling using machine learning artificial neural network algorithms 相关领域
人工神经网络
材料科学
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电子工程
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光刻胶
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期刊: 作者:Pietro Cantù; Chiara Catarisano; Nicoletta Corneo; Emma Litterio; Benedetta Triulzi; et al 出版日期:2018-03-20 |
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