Effect of water vapor mixed into plasma gas on the preparation of ZnO transparent conductive thin films by atmospheric pressure low temperature plasma

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标题	Effect of water vapor mixed into plasma gas on the preparation of ZnO transparent conductive thin films by atmospheric pressure low temperature plasma 水蒸气混入等离子体气体对常压低温等离子体制备ZnO透明导电薄膜的影响
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114961
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114961 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Mana Isono; Yoshifumi Suzaki 出版日期：2025-11-26
求助人	艾贝宁在 2025-12-21 22:07:06 发布自北京，悬赏 10 积分
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