Electron-induced chemical transformation of vapor-phase synthesized hybrid resist materials for EUV and beyond EUV lithography

已完结

文献求助详情

标题	Electron-induced chemical transformation of vapor-phase synthesized hybrid resist materials for EUV and beyond EUV lithography
网址	https://doi.org/10.1557/s43580-024-01075-w
DOI	10.1557/s43580-024-01075-w doi
其它	期刊：MRS Advances 作者：Dan N. Le; Jean-François Veyan; Thi Thu Huong Chu; L. R. Wilson; Linh Pham; et al 出版日期：2024-12-31
求助人	樊珩在 2026-09-29 23:37:30 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: xcheng发布了新的文献求助10

1秒前; 花痴的飞珍发布了新的文献求助10

1秒前; 小马甲的应助被狂野的猕猴桃采纳，获得10

1秒前; ydor发布了新的文献求助10

1秒前; 科研通AI6.2的应助被酷酷断缘采纳，获得10

2秒前; CodeCraft上传了应助文件

3秒前; Akim上传了应助文件

3秒前; 深情安青上传了应助文件

3秒前; ty完成签到，获得积分10

3秒前; 0000发布了新的文献求助10

4秒前; JamesPei上传了应助文件

4秒前; WhiteT完成签到，获得积分10

4秒前; 科小白完成签到，获得积分0

4秒前; 小木子发布了新的文献求助10

5秒前; 斯文败类的应助被最好的采纳，获得10

5秒前; 科研通AI2S的应助被布布采纳，获得10

5秒前; CodeCraft上传了应助文件

5秒前; 我是老大上传了应助文件

5秒前; 研友_851MM8完成签到，获得积分10

5秒前; dog完成签到，获得积分10

5秒前; 初景发布了新的文献求助10

7秒前; 畅学天下发布了新的文献求助10

7秒前; gzl完成签到，获得积分10

8秒前; dyd发布了新的文献求助10

8秒前; cc321发布了新的文献求助10

8秒前; mz发布了新的文献求助10

9秒前; 英俊的铭上传了应助文件

9秒前; hetao286发布了新的文献求助10

9秒前; 研友_VZG7GZ的应助被AZURE采纳，获得10

9秒前; 完美世界上传了应助文件

10秒前; sxp1031驳回了ding的应助

10秒前; Ali上传了应助文件

10秒前; 阔达的琦发布了新的文献求助10

10秒前; 一YI发布了新的文献求助10

11秒前; dajiang完成签到，获得积分10

12秒前; Mu完成签到，获得积分10

12秒前; Akim上传了应助文件

13秒前; 完美世界上传了应助文件

13秒前; dede的应助被歪比巴卜采纳，获得10

13秒前; 李老师10发布了新的文献求助30

14秒前