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标题
Single Rare-Earth Ion Doped Tin-Oxo Nanocluster Photoresists for High-Resolution Extreme Ultraviolet Lithography
网址
DOI
10.1021/acs.nanolett.4c06140 doi
其它 期刊:Nano Letters
作者:Fangfang Liu; Guangyue Shi; Zhen Ni; Zuohu Zhou; Taoli Guo; et al
出版日期:2025-01-27
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妮妮 在 2026-08-23 22:12:52 发布自福建,悬赏 10 积分
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