Atomic-Scale Insights into Ultrasonic Vibration-Assisted Polishing Mechanisms of 4H-SiC in H 2 O 2 Solutions

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标题	Atomic-Scale Insights into Ultrasonic Vibration-Assisted Polishing Mechanisms of 4H-SiC in H 2 O 2 Solutions
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acs.langmuir.5c05966
DOI	10.1021/acs.langmuir.5c05966 doi
其它	期刊：Langmuir 作者：Shaodong Zheng; Xinxing Ban; Wenlan Ba; Jianhui Zhu; Zhen Hui; et al 出版日期：2026-02-07
求助人	杜faifai 在 2026-08-07 12:59:28 发布自吉林，悬赏 10 积分
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