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Experimental investigation of chemical mechanical polishing (CMP) process parameters through polishing of optical glass
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DOI
10.1063/5.0193883 doi
其它 期刊:AIP Conference Proceedings
作者:Aparajita Parashar; Manoj Kumar; Raj Kumar Pal; Vinod Karar
出版日期:2024-01-01
求助人
半拉油豆角 在 2026-07-06 13:35:19 发布自吉林,悬赏 10 积分
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