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 Development of a unidirectional magnetic field-applied fast atom beam source for surface activated bonding 用于表面活化键合的单向磁场快原子束源的研制
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：K. Oshima; Wataru Nomura; Taisei Kato; Chiemi Oka; Junpei Sakurai; et al 出版日期：2025-05-07 |
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