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标题
Density functional theory study on the selective capping of cobalt on copper interconnect
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DOI
10.1016/j.apsusc.2022.152750 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Khabib Khumaini; Romel Hidayat; Tirta Rona Mayangsari; Tanzia Chowdhury; Hye-Lee Kim; et al
出版日期:2022-05-01
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舒适涵山 在 2026-09-14 23:07:50 发布自广东,悬赏 10 积分
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