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Direct Wafer Bonding of Silicon Carbide and Copper
碳化硅与铜的直接晶片键合
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https://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acsami.5c00949
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10.1021/acsami.5c00949
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谯殿艺
在 2025-11-10 14:36:52 发布自
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