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Process Insights into 3D-DRAM with Vertical Bit Line and Scalable GAA Transistor 具有垂直位线和可扩展GAA晶体管的3D-DRAM工艺洞察
相关领域
德拉姆
可扩展性
晶体管
位(键)
计算机科学
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期刊: 作者:Nouredine Rassoul; Loris Angelo Labbate; Geert Eneman; A. Fantini; R. Ritzenthaler; et al 出版日期:2025-06-08 |
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