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Process Insights into 3D-DRAM with Vertical Bit Line and Scalable GAA Transistor

德拉姆 可扩展性 晶体管 位（键） 计算机科学 过程（计算） 直线（几何图形） 计算机硬件 嵌入式系统 电气工程 电压 计算机网络 工程类 操作系统 几何学 数学
作者
Nouredine Rassoul,Loris Angelo Labbate,Geert Eneman,A. Fantini,R. Ritzenthaler,Jana Loyo Prado,Roger Loo,Wouter Devulder,Emmanuel Dupuy,Tobias Peissker,Antoine Pacco,Hemant Kumar Raut,Pierre Eyben,Eduardo Fernández Canga,Erik Rosseel,Arvind Sharma,Hyungrock Oh,Yaksh Rawal,Matteo Beggiato,Jae Min Kim
标识
DOI：10.23919/vlsitechnologyandcir65189.2025.11075009
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