Polarity and Microstructure of Sputter-Deposited AlN Films on Mo Electrodes

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标题	Polarity and Microstructure of Sputter-Deposited AlN Films on Mo Electrodes
网址	http://dx.doi.org/10.3938/jkps.68.585
DOI	10.3938/jkps.68.585 doi
其它	作者: T. T. T. Tran, H. S. Nguyen, S. H. Lee, J. H. Park, and K. H. Yoon 期刊/会议: Journal of the Korean Physical Society, vol. 68, no. 4, pp. 585-590, Feb. 2016.
求助人	akun 在 2025-10-19 16:47:41 发布自江苏，悬赏 10 积分
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