Low-temperature process design for inversion mode n-channel thin-film-transistor on polycrystalline Ge formed by solid-phase crystallization

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标题	Low-temperature process design for inversion mode n-channel thin-film-transistor on polycrystalline Ge formed by solid-phase crystallization 固相晶化多晶锗上反型n沟道薄膜晶体管低温工艺设计相关领域薄膜晶体管材料科学制作结晶掺杂剂活化晶体管光电子学微晶掺杂剂电气工程纳米技术兴奋剂电压图层（电子）化学冶金医学替代医学工程类病理有机化学
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad13a1 AI链接 iop.orgdoi.org
DOI	10.35848/1347-4065/ad13a1 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Linyu Huang; Kenta Moto; Kota Igura; Takamitsu Ishiyama; Kaoru Toko; et al 出版日期：2023-12-08
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