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标题
Study of dielectric properties of resistive thin-film coatings based on silicon nitride compositions
相关领域
材料科学 氮化硅 薄膜 电介质 硅 氮化物 基质（水族馆） 氮化硅 光电子学 溅射沉积 涂层 溅射 复合材料 图层（电子） 纳米技术 地质学 海洋学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2564419
DOI
10.1117/12.2564419 doi
其它 期刊：
作者：A. V. Starodubov; Alexey A. Serdobintsev; Ilya O. Kozhevnikov; Anton M. Pavlov; Viktor V. Galushka; et al
出版日期：2020-04-09
求助人
汉堡包 在 2025-10-27 23:54:48 发布自黑龙江，悬赏 20 积分
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