Investigation of sidewall damage induced by reactive ion etching on AlGaInP MESA for micro-LED application

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标题	Investigation of sidewall damage induced by reactive ion etching on AlGaInP MESA for micro-LED application
网址	https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2021.117937
DOI	10.1016/j.jlumin.2021.117937 doi
其它	期刊：Journal of Luminescence 作者：Younes Boussadi; N. Rochat; Jean‐Paul Barnes; Badhise Ben Bakir; Philippe Ferrandis; et al 出版日期：2021-01-24
求助人	研友_Z33zkZ 在 2026-11-02 14:59:47 发布自美国，悬赏 10 积分
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