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标题
Mechanisms determining uniformity across the wafer in low-energy plasma etching for microelectronic applications: Ion energy distribution function and edge effects
网址
http://dx.doi.org/10.1063/5.0346625
DOI
10.1063/5.0346625 doi
其它 期刊：Physics of Plasmas
作者：R. R. Khalilullin; V. O. Kuzmenko; A. V. Miakonkikh
出版日期：2026-09-01
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大胆的涵柏 在 2026-10-24 16:04:42 发布自四川，悬赏 10 积分
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  • 1天前

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