Control of Thermo-Mechanical Wafer Deformations in EUV Lithography Using an Active Wafer Clamp

待确认

文献求助详情

标题	Control of Thermo-Mechanical Wafer Deformations in EUV Lithography Using an Active Wafer Clamp 相关领域薄脆饼极紫外光刻平版印刷术材料科学光刻光电子学夹紧 X射线光刻晶圆级封装电子束光刻电子工程抵抗机械工程工程类纳米技术夹紧图层（电子）
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/66/8979208/08876608.pdf?... AI链接 tue.nl tue.nl scopus.com tue.nldoi.org
DOI	10.1109/tsm.2019.2948225 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：David van den Hurk; Siep Weiland; Koos van Berkel 出版日期：2019-10-19
求助人	跳跃大雁在 2026-11-11 16:24:41 发布自北京，悬赏 10 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
6小时前

灞波儿奔 Lv73 上传了文件

待审核 Control_of_Thermo-Mechanical_Wafer_Deformations_in_EUV_Lithography_Using_an_Active_Wafer_Clamp.pdf (2.77 MB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
6小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

16:24:45 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

16:24:42 科研通AI机器人（美国洛杉矶）收到请求，开始寻找文献

16:24:41 已向机器人发送请求
6小时前

跳跃大雁 Lv11 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: molihuakai上传了应助文件

1秒前; cc发布了新的文献求助10

1秒前; 天天快乐上传了应助文件

2秒前; chip0912完成签到，获得积分10

2秒前; ding上传了应助文件

2秒前; Inevitable发布了新的文献求助10

2秒前; Akim的应助被ximi采纳，获得10

3秒前; 酷波er的应助被小jia很ok采纳，获得10

4秒前; SciGPT的应助被VInci采纳，获得10

5秒前; null上传了应助文件

6秒前; prigogin的应助被等风的拾荒者采纳，获得10

6秒前; 爱你老己发布了新的文献求助10

6秒前; mutou发布了新的文献求助10

6秒前; 我是老大上传了应助文件

7秒前; Jasper上传了应助文件

8秒前; 小羊咩咩完成签到，获得积分10

8秒前; 重要的易梦发布了新的文献求助10

8秒前; lnx完成签到，获得积分10

9秒前; Noioso完成签到，获得积分10

9秒前; 516165165发布了新的文献求助10

9秒前; wanci上传了应助文件

10秒前; 顾矜的应助被Summer采纳，获得10

10秒前; 机智的白卉的应助被仁爱糖豆采纳，获得10

11秒前; 明亮诗槐发布了新的文献求助10

12秒前; Aphrissa发布了新的文献求助10

13秒前; Lesley完成签到，获得积分10

13秒前; Yee完成签到，获得积分10

14秒前; 传奇3的应助被晴风化雨采纳，获得10

15秒前; 苗条的嫣发布了新的文献求助10

16秒前; 龙格完成签到，获得积分10

16秒前; 脑洞疼上传了应助文件

17秒前; 桐桐上传了应助文件

17秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

17秒前; 852上传了应助文件

18秒前; 无花果上传了应助文件

18秒前; 机智的白卉上传了应助文件

18秒前; 爆米花上传了应助文件

19秒前; rt的应助被Dafu采纳，获得10

19秒前; 可爱的函函的应助被心落失采纳，获得10

20秒前; 隐形曼青上传了应助文件

20秒前