Effect of Process Parameters on Material Removal Rate in Chemical Mechanical Polishing of 6H-SiC(0001) - 科研通

发布文献求助

亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！

已完结

文献求助详情

标题	Effect of Process Parameters on Material Removal Rate in Chemical Mechanical Polishing of 6H-SiC(0001)
网址	https://www.scientific.net/MSF.600-603.831.pdf
DOI	10.4028/www.scientific.net/msf.600-603.831 doi
其它	期刊：Materials Science Forum 作者：Joon Ho An; Gi Sub Lee; Won Jae Lee; Byoung Chul Shin; Jung Doo Seo; et al 出版日期：2009-03-12
求助人	ykk 在 2026-11-03 21:41:07 发布自北京，悬赏 30 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

Institute for Operations Research and the Management Sciences

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 搜集达人上传了应助文件

2秒前; v0id上传了应助文件

2秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

3秒前; 顾矜上传了应助文件

3秒前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助10

5秒前; 无限的寡妇完成签到，获得积分10

6秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

6秒前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助10

8秒前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助10

11秒前; 黎叔叔发布了新的文献求助30

13秒前; 烟花的应助被无限雅山采纳，获得10

14秒前; 坚定谷蕊完成签到，获得积分10

14秒前; 可爱的函函上传了应助文件

14秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

15秒前; lhp上传了应助文件

18秒前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助10

19秒前; NexusExplorer的应助被hanatae采纳，获得10

20秒前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助150

21秒前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; v0id的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; Criminology34的应助被科研通管家采纳，获得10

22秒前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助10

24秒前; MarsWei发布了新的文献求助30

25秒前; 学术雷锋发布了新的文献求助10

26秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

27秒前; NexusExplorer上传了应助文件

28秒前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助10

33秒前; 顺利的玫瑰关闭了顺利的玫瑰的文献求助

33秒前; hanatae发布了新的文献求助10

35秒前; CodeCraft上传了应助文件

38秒前; 海洋球完成签到，获得积分10

41秒前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助10

43秒前; 机灵善斓完成签到，获得积分10

46秒前; JamesPei上传了应助文件

46秒前; 义气春天完成签到，获得积分10

51秒前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助10

52秒前; ding上传了应助文件

54秒前; 清风徐来上传了应助文件

1分钟前; 机灵的妙菡发布了新的文献求助10

1分钟前

高分求助中: (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Energie-Contracting 1500; Spec 401: Standards for Jet Fuel Facility and Equipment Commissioning and Flushing at Airports, 2026.1 (Original Issue) 1000; Spec 103: Standard for Jet Fuel Quality Control at Airports, Revision 2026.1 1000; Mathematical models in hydrology 1000; Klimaschutzrecht durch den Energiesektor im Mehrebenensystem – Ein Rechtsvergleich 1000; Introduction to Industrial/Organizational Psychology 800

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 8091331; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9503817; 关于积分的说明 21437309; 捐赠科研通 7663127; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3404965; 关于科研通互助平台的介绍 2533203; 邀请新用户注册赠送积分活动 2443662

今日热心研友

吃葡萄不吐葡萄皮

散逸层梦游

俊逸的映易

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通