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High-Qbulk-mode SOI square resonators with straight-beam anchors
网址
https://doi.org/10.1088/0960-1317/19/1/015017
DOI
10.1088/0960-1317/19/1/015017 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：L Khine; M Palaniapan
出版日期：2008-11-29
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pp 在 2026-01-21 16:02:24 发布自北京，悬赏 10 积分
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