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Fabrication of a fractal pattern device for focus characterizations ofX-ray imaging systems by Si deep reactive ion etching and bottom-up Auelectroplating 硅深反应离子刻蚀和自下而上Au电镀制备X射线成像系统聚焦表征分形图案器件
相关领域
材料科学
电镀
光学
蚀刻(微加工)
制作
分形
反应离子刻蚀
深反应离子刻蚀
基质(水族馆)
离子轨道
光电子学
离子
纳米技术
物理
海洋学
医学
数学
地质学
数学分析
量子力学
病理
替代医学
图层(电子)
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期刊:Applied Optics 作者:Zhitian Shi; D. Josell; Konstantins Jefimovs; Lucia Romano; Thomas P. Moffat; et al 出版日期:2022-04-13 |
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