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标题
Research on ultraviolet femtosecond pulsed laser cutting 4H-SiC
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DOI
10.1117/12.2587288 doi
其它 期刊:24th National Laser Conference & Fifteenth National Conference on Laser Technology and Optoelectronics
作者:yunsong huang; yongdu Li; yanfei Shen; qingchun Zhao; chen Chen; Chao Lu
出版日期:2020-12-03
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