| 标题 |
 In SEM a New Method for Nondestructive Internal Microtomography of Semiconductors and IC 相关领域
微电子
材料科学
无损检测
半导体
微观结构
可视化
复合材料
纳米技术
光电子学
机械工程
工程类
物理
量子力学
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| 其它 |
期刊：Microscopy and Microanalysis 作者：Zhuguan Liang; Ling Xia; Yawen Li; Jing Wang; Kailin Zhou; et al 出版日期：2001-08-01 |
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