Reactor scale simulations of ALD and ALE: Ideal and non-ideal self-limited processes in a cylindrical and a 300 mm wafer cross-flow reactor

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标题	Reactor scale simulations of ALD and ALE: Ideal and non-ideal self-limited processes in a cylindrical and a 300 mm wafer cross-flow reactor
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001212
DOI	10.1116/6.0001212 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Ángel Yanguas-Gil; Joseph A. Libera; Jeffrey W. Elam 出版日期：2021-09-24
求助人	啧啧啧在 2026-07-05 17:38:50 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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