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Interfacial reaction pathways and kinetics during annealing of epitaxial Al/TiN(001) model diffusion barrier systems
网址
http://dx.doi.org/10.1016/s0040-6090(01)00938-5
DOI
10.1016/s0040-6090(01)00938-5 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：J.-S. Chun; P. Desjardins; I. Petrov; J.E. Greene; C. Lavoie; et al
出版日期：2001-07-01
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咖老师 在 2026-08-27 16:03:54 发布自广东，悬赏 10 积分
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