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Interfacial reaction pathways and kinetics during annealing of epitaxial Al/TiN(001) model diffusion barrier systems
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DOI
10.1016/s0040-6090(01)00938-5 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:J.-S. Chun; P. Desjardins; I. Petrov; J.E. Greene; C. Lavoie; et al
出版日期:2001-07-01
求助人
咖老师 在 2026-08-27 16:03:54 发布自广东,悬赏 10 积分
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