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Triple/quadruple patterning layout decomposition via novel linear programming and iterative rounding
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图像拼接 平版印刷术 舍入 极紫外光刻 多重图案 下一代光刻 计算机科学 光刻 算法 材料科学 电子束光刻 抵抗 纳米技术 光电子学 人工智能 操作系统 图层（电子）
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2218628
DOI
10.1117/12.2218628 doi
其它 期刊：SPIE Proceedings
作者：Yibo Lin; Xiaoqing Xu; Bei Yu; Ross Baldick; David Z. Pan
出版日期：2016-03-16
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你嵙这个期刊没买 在 2026-08-29 09:15:44 发布自中国，悬赏 20 积分
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