| 标题 |
 Effect of coil and chamber structure on plasma radial uniformity in radio frequency inductively coupled plasma 线圈和腔室结构对射频电感耦合等离子体径向均匀性的影响
相关领域
感应耦合等离子体
等离子体
感应线圈
无线电频率
电磁线圈
材料科学
原子物理学
化学
核磁共振
物理
核物理学
电气工程
工程类
量子力学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Plasma Science & Technology 作者：Yang Zhao; Xiaohua Zhou; Shengrong Gao; Sha-Sha Song; Yuzhen Zhao 出版日期：2024-03-08 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
HEIKU
bc
从容芮
yydragen
OCDer
zho
个性归尘
妖娃娃
sunyz
aldehyde
若雨凌风
帮主哥哥
遇上就这样吧
jenningseastera
dabaigou
zouyu
兔兔
斯寜
请叫我风吹麦浪
Magali
皖公网安备34019202002308
