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 Novel three-layer stacking process with face-to-back CoW 6 μm-pitch hybrid bonding 具有面对背COW 6 μ m间距混合键合的新型三层堆叠工艺
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期刊： 作者：Akihiro Urata; Takahiro Kamei; Akihisa Sakamoto; Hirotaka Yoshioka; Takaaki Hirano; et al 出版日期：2024-05-28 |
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