In situ mass spectrometric investigation to probe GeSn growth dynamics and mechanisms in the chemical vapor deposition processes

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标题	In situ mass spectrometric investigation to probe GeSn growth dynamics and mechanisms in the chemical vapor deposition processes
网址	https://doi.org/10.1116/6.0003566
DOI	10.1116/6.0003566 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Joshua M. Grant; Enbo Yang; N. Masoumi; Alexander Golden; Joe Margetis; et al 出版日期：2024-06-26
求助人	YXZ 在 2026-10-29 14:56:23 发布自湖南，悬赏 10 积分
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