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[高分] 学位论文 Study of thermal oxidation of tantalum thin film and its protection by Ta2O5 and Al2O3 thin film layers for microscale chemical reactors
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| 其它 | 作者：Inkyu Park，硕士论文，伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校University of Illinois At Urbana-champaign |
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(2025-6-4)
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