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 Mask Influence on the Near-Surface Region of Microstructures Made by Deep Cryogenic Etching of Silicon in SF6/O2 Plasma 相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
硅
微观结构
等离子体
等离子体刻蚀
低温
光电子学
复合材料
强子
各向同性腐蚀
深反应离子刻蚀
冶金
反应离子刻蚀
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期刊：Bulletin of The Russian Academy of Sciences: Physics 作者：K. V. Rudenko; A. E. Melnikov; A. V. Miakonkikh 出版日期：2026-04-01 |
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StevenZhao
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