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标题
A film bulk acoustic resonator-based high-performance pressure sensor integrated with temperature control system
基于薄膜体声谐振器的集成温度控制系统的高性能压力传感器
相关领域
谐振器 材料科学 电阻器 压力传感器 线性 灵敏度（控制系统） 光电子学 炸薯条 声学 电气工程 电子工程 工程类 电压 机械工程 物理
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6439/aa5e6a
DOI
10.1088/1361-6439/aa5e6a doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Mengying Zhang; Zhan Zhao; Lidong Du; Zhen Fang
出版日期：2017-02-06
求助人
温柔的灵萱 在 2025-09-07 19:50:12 发布自四川，悬赏 10 积分
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