High Sensitivity Mems Z-Axis Accelerometer with In-Plane Differential Readout

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标题	High Sensitivity Mems Z-Axis Accelerometer with In-Plane Differential Readout 具有面内差分读数的高灵敏度Mems Z轴加速度计相关领域加速度计微电子机械系统灵敏度（控制系统）制作声学平面（几何）电子工程物理计算机科学材料科学工程类光电子学几何学数学替代医学病理医学量子力学
网址	https://ieeexplore.ieee.org/document/10052375
DOI	10.1109/MEMS49605.2023.10052375 doi
求助人	WilliamTT 在 2025-08-31 11:39:43 发布自浙江，悬赏 10 积分
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