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标题
[高分] Structure of mixed-phase LPCVD silicon films as a function of operating conditions
混合相LPCVD硅膜的结构随操作条件的变化
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1051/jp4:19998136
DOI
10.1051/jp4:19998136 doi
其它 期刊：Journal de Physique IV (Proceedings)
作者：B. de Mauduit; Christian Bourgerette; Vincent Paillard; Pascal Puech; Brigitte Caussat
出版日期：1999-09-01
求助人
牛奶奶爱喝纯牛奶 在 2025-10-14 01:16:03 发布自天津，悬赏 50 积分
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