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Thermal budget reduction for spike anneals in conventional RTP
常规RTP中尖峰退火的热预算降低
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网址
https://doi.org/10.1557/s43580-022-00462-5
DOI
10.1557/s43580-022-00462-5 doi
其它 期刊：MRS Advances
作者：Silke Hamm; M. Bauer; Christian Pfahler; R. Bremensdorfer; D. Hezler; et al
出版日期：2022-12-15
求助人
George 在 2025-12-26 16:07:13 发布自江苏，悬赏 10 积分
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