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 Magnetic sputtering preparation of hybrid AlN/SiCN thin films with ultrahigh piezoresistivity 磁溅射制备超高压阻AlN/SiCN杂化薄膜
相关领域
材料科学
压阻效应
压电
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期刊：Ceramics International 作者：Duo Yang; Qi Zhou; Pengchong Xu; N. Liao 出版日期：2024-01-30 |
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