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Theoretical investigation of Rayleigh-type surface acoustic waves with high electromechanical coupling coefficient in c-axis-tilted ScAlN film/3C-SiC substrate structure c轴倾斜ScAlN薄膜/3C-SiC衬底结构中高机电耦合系数瑞利型声表面波的理论研究
相关领域
材料科学
瑞利波
谐振器耦合系数
机电耦合系数
瑞利散射
联轴节(管道)
基质(水族馆)
声表面波
凝聚态物理
光学
光电子学
表面波
复合材料
物理
地质学
压电
谐振器
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Takumi Tominaga 出版日期:2024-10-08 |
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