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标题
Phase Changes of 4H-SiC in Excimer Laser Doping
准分子激光掺杂中4H-SiC的相变
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网址
https://doi.org/10.1007/s11664-022-09625-4
DOI
10.1007/s11664-022-09625-4 doi
其它 期刊：Journal of Electronic Materials
作者：Yasutsugu Usami; Kaname Imokawa; Ryoichi Nohdomi; Atsushi Sunahara; Hakaru Mizoguchi
出版日期：2022-04-25
求助人
Happyable 在 2025-12-06 15:55:23 发布自湖北，悬赏 10 积分
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