A study on EUV patterning with colloidal nanoparticles

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标题	A study on EUV patterning with colloidal nanoparticles 胶体纳米粒子的极紫外图形化研究相关领域极紫外光刻材料科学平版印刷术纳米球光刻纳米制造纳米光刻下一代光刻纳米技术干涉光刻纳米结构光电子学激光器胶体晶体 X射线光刻极端紫外线光学抵抗电子束光刻制作胶体物理化学病理医学物理化学图层（电子）替代医学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2687727
DOI	10.1117/12.2687727 doi
其它	期刊：作者：Saurav Mohanty; Ethan Flores; Chih‐Hao Chang 出版日期：2023-11-21
求助人	grande 在 2025-12-04 16:53:27 发布自北京，悬赏 20 积分
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