Characterization of physical and mechanical properties of Al2O3-doped ZnO (AZO) thin films deposited on transparent polyimide supports with various ALD process parameters

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标题	Characterization of physical and mechanical properties of Al2O3-doped ZnO (AZO) thin films deposited on transparent polyimide supports with various ALD process parameters
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.147731
DOI	10.1016/j.apsusc.2020.147731 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Gyeong-Beom Lee; Seung Hak Song; Myeong-Woo Lee; Yun-Jae Kim; Byoung-Ho Choi 出版日期：2021
求助人	曾哥帅在 2026-01-21 18:03:56 发布自四川，悬赏 10 积分
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