| 标题 |
 Fabrication of high-aspect-ratio, sub-micron gratings in AlGaInP/GaAs laser structures using a BCl3/Cl2/Ar inductively coupled plasma 相关领域
感应耦合等离子体
制作
蚀刻（微加工）
化学
钝化
咬边
材料科学
光电子学
分析化学（期刊）
等离子体
图层（电子）
纳米技术
复合材料
物理
病理
医学
量子力学
替代医学
色谱法
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Gareth Edwards; A. Sobiesierski; D.I. Westwood; Peter M. Smowton 出版日期：2007-08-06 |
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