标题 |
![]() 射频溅射钛基介质层作为钝化触点的铝扩散阻挡层
相关领域
钝化
材料科学
扩散
阻挡层
扩散阻挡层
溅射
电介质
图层(电子)
溅射沉积
接触电阻
光电子学
复合材料
分析化学(期刊)
薄膜
纳米技术
化学
热力学
物理
色谱法
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Deleted Journal 作者:Benjamin Gapp; Heiko Plagwitz; Giso Hahn; Barbara Terheiden 出版日期:2024-12-06 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|