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 C54-TiSi2 formation using nanosecond laser annealing of A-Si/Ti/A-Si stacks 使用A-Si/Ti/A-Si堆叠的ns激光热处理形成C54-TiSi 2
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期刊：Thin Solid Films 作者：Réda Guelladress; S. Kerdilès; Mélanie Dartois; C. Sabbione; M. Grégoire; et al 出版日期：2024-05-17 |
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