Fabrication of a vertical sidewall using double-sided anisotropic etching of 〈1 0 0〉 oriented silicon

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标题	Fabrication of a vertical sidewall using double-sided anisotropic etching of 〈1 0 0〉 oriented silicon
网址	https://doi.org/10.1088/0960-1317/22/9/095014
DOI	10.1088/0960-1317/22/9/095014 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Hyun-Seok Kim; Jung-Mu Kim; Yong-Seung Bang; Eun-Seok Song; Chang-Hyeon Ji; et al 出版日期：2012-07-28
求助人	Quenchingstar 在 2026-10-06 22:59:18 发布自江苏，悬赏 10 积分
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