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标题
High-performance annealing-free InGaZnOx thin film transistors by thermal ALD
相关领域
材料科学 光电子学 薄膜晶体管 阈值电压 原子层沉积 无定形固体 氧化物 图层(电子) 晶体管 热氧化 热的 阈下传导 氧气 沉积(地质) 热失控 空位缺陷 纳米技术 电压 场效应晶体管 压力(语言学) 薄膜 氧化物薄膜晶体管 MOSFET 杠杆 阈下斜率 集成电路 活动层 栅氧化层 量子隧道 非易失性存储器 电子迁移率 硅 化学气相沉积
网址
DOI
10.1063/5.0299768 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Hyeong Seok Choi; Dong Hee Han; Hyun Woo Jeong; Jaejoon Kim; Joonyong Kim; et al
出版日期:2026-01-28
求助人
默存 在 2026-11-10 18:11:52 发布自江苏,悬赏 10 积分
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