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Ferroelectricity of Hf0.5Zr0.5O2 thin films grown by atomic layer deposition on epitaxial TiN bottom electrodes
网址
DOI
10.1016/j.jallcom.2024.176716 doi
其它 期刊:Journal of Alloys and Compounds
作者:Yoogeun Han; Juyoung Jeong; Jaeyoung Joo; Yeong Gwang Khim; Minseon Gu; et al
出版日期:2024-10-01
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高兴的傲薇 在 2026-10-28 15:35:15 发布自河北,悬赏 10 积分
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