HiPIMS and Bipolar HiPIMS Techniques for Tunable Phase Formation of Yttrium Oxide Thin Films at Low-Temperature - 科研通

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标题	HiPIMS and Bipolar HiPIMS Techniques for Tunable Phase Formation of Yttrium Oxide Thin Films at Low-Temperature 相关领域高功率脉冲磁控溅射钇材料科学氧化物薄膜光电子学化学工程分析化学（期刊）纳米技术冶金化学溅射沉积溅射环境化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113336
DOI	10.1016/j.vacuum.2024.113336 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Soeun Ahn; E. D. Jeong; Kyoungho Jeon; Sang Ho Lim; Seunghee Han 出版日期：2024-05-28
求助人	初夏在 2025-09-27 22:37:38 发布自天津，悬赏 10 积分
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