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标题
Role of N2 during chemical dry etching of silicon oxide layers using NF3/N2/Ar remote plasmas
网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2006.11.007
DOI
10.1016/j.mee.2006.11.007 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：D.J. Kim; Y.B. Yun; J.Y. Hwang; N.-E. Lee; K.S. Kim; G.H. Bae
出版日期：2007
求助人
zhai957 在 2026-06-25 17:52:18 发布自美国，悬赏 10 积分
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