Two-zone temperature AlN buffer layer-assisted growth of high-quality AlN films with controllable step bunching morphology on Si (111) substrates

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标题	Two-zone temperature AlN buffer layer-assisted growth of high-quality AlN films with controllable step bunching morphology on Si (111) substrates
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2026.187240
DOI	10.1016/j.jallcom.2026.187240 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Youheng Song; Zhe Wu; Weizhe Cui; Jiale Zhang; Yujie Wang; et al 出版日期：2026-03-01
求助人	自己在 2026-07-24 14:15:42 发布自吉林，悬赏 10 积分
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